气浮运动台有那些长处
气浮运动台有那些长处？
01长处
跟着半导体进进到快速开展的阶段，响应的加工检测设备也会逐步的进步性能，所以有许多的公司城市用到气浮运动台，那是一款高精度的设备，次要感化于半导体加工、检测，微纳加工，测试丈量等，但是它到底有哪一些次要的优势。
1. 高曲线度和平面度
2. 高定位精度和反复定位
3. 运动速度平稳
4. 纳米级微动步距
02精度
气浮运动台的高曲线度和平面度依靠于气浮导轨，材量分为铝合金、大理石及碳化硅陶瓷等，研究其高压气膜的压力散布、气源压力、节流器、均压槽深度等，找到了更优气膜刚度时的参数区间有着超卓的性能精度，实现更大速度2米/秒，可以拥有4G的加速度，并且承载的才能也十分的超卓，所以在目前的市场上已经逐步得到各人的承认，只是当我们在抉择设备时，或许也会存在良多的迷惘，好比说要抉择哪种材量的气浮导轨。
03材量
其实材量的抉择是跟用户的利用有着密切的联络，单从性价比角度领会，碳化硅陶瓷材量的气浮运动台精度高，当然成本也高贵，铝合金与大理石材量的同样性能比力，铝合金的加工难度大些，成本较高，大理石的成本较廉价些。
04曲线电机
操纵先辈的曲线电机驱动，抉择无铁芯设想，特征是无齿槽效应，高动态性能及电流噪音小等，所以在运动的过程中可以实现超平稳的效果，别的设置装备摆设光栅尺闭环反应及先辈性的掌握系统，获得高定位精度和反复定位精度，掌握器对光栅尺更大65536倍细分，获得纳米级微动步距。
所以从各个标的目的的优势来看，气浮运动台已经成为当前处置高精巧利用行业的抉择，可以进步整个系统的精度性能。
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