先秦时御史并无监察职能，秦汉后出现固定机构
御史在秦以前并没有监察本能机能，秦汉时始为“治官之官”，且有固定机构，称“御史府”。后汉改为“宪台”。魏、晋、宋时改名为“兰台”。梁、陈、北朝喊“御史台”。唐朝因之做为监视百官职事的机构。
唐朝的御史台设御史医生一报酬长官、御史中丞二员为副，下辖三院：台院，设侍御史四人，“掌举百僚，推鞫狱讼”，次要负责监视中心仕宦和弹劾百官立功，审理刑事案件；殿院，设殿中侍御史六人，“掌殿廷供奉之仪式”，次要负责监视朝仪、朝会、郊祀并巡视京都；察院，设监察御史十人，次要负责对中心六部和处所州县官员停止监视。各院御史的人数随时代差别而各有增减，此处所列，只是大的概貌，并不是定命。
从权利构造来看，御史台兼有监察权、弹劾权，以至享有部门司法审讯权，要零丁将之定性为监察机关、或查察机关，皆不敷以全面归纳综合，称之为审讯机关更是不当，实则是集监察、弹劾、审讯于一身的集权式机构，不宜照移现代的法令术语往套。从行使权利的主体来看，三个院均有监视权，而弹劾权、审讯权似乎回台院独享，现实上，三院在权柄的详细行使上又有穿插，殿院、察院有时也行使弹劾权、审讯权，情状非常复杂。
秦始置御史中丞。汉朝为御史医生的次官，或称御史中执法，秩千石。在殿中兰台掌图籍秘书；外督部刺史，监察郡国行政；内领侍御史，察看四方文书计簿，按劾公卿章奏。汉哀帝废御史医生，以御史中丞为御史台长官，尔后历代沿袭不改，唯官名时有变更：曹操曾改御史中丞为宫正，取其纠弹百官朝仪的职掌而言；北魏亦曾改称中尉。南北朝期间，御史医生时置时废、即令置医生亦往往缺位。故中丞实为御史台长官无疑。隋但置御史医生，不置御史中丞，那是因为避忌（隋文帝父讳忠，举凡郎中皆往“中”字）的缘故。唐朝、五代、宋均医生与中丞并置，唯医生少少除授，仍以中丞为长官。明朝废御史台、改设都察院，此官遂废。清朝，督抚常带都察院右副都御史衔，时认为副都御史可比前代御史中丞，故习称督抚为中丞。
御史医生也是秦代始置，负责监察百官，代表皇帝承受百官奏事，治理国度重要图册、典籍，代朝廷草拟诏命文书等。西汉沿置，御史医生与丞相、太尉合称三公，秩中二千石。《汉书·百官公卿表》谓“掌副丞相”。西汉丞相位缺，常以其递补。同书颜师古注引应劭曰：“侍御史之率，故称医生云。”同书《高帝纪》》又云皇帝诏书由“御史医生下相国，相国酂侯下诸侯王”。职务类似后来的尚书令，此为汉初之情状。凡是谓御史职掌监察，然主管非御史医生，而是其下的御史中丞。成帝绥和元年（前8年），仿古造设三公，改医生为大司空。东汉又改为司空。大司空（司空）不在御史台。“侍御史之率”的名义改属中丞。晋以后多不置御史医生。唐复置，专掌监察执法。宋不除医生，以中丞为台长。明洪武中改御史台为都察院，御史医生之官遂废。
隋开皇二年（582年）改检校御史为监察御史，始设。唐御史台分为三院，监察御史属察院，品秩不高而权限广。宋、元、明、清因之。明清废御史台设都察院，凡是弹劾与建言，设都御史、副都御史、监察御史。监察御史分道负责，因而别离冠以某某道地名。《新唐书.百官志三》：“监察御史十五人，正八品下。掌分察百僚，巡按州县，狱讼、军戎、祭奠、营做、太府出纳皆莅焉；知朝堂摆布厢及百司纲目。”然等级仅正八品下，无出进朝堂正门的资格，只能由侧门进出，非奏事不得至殿廷。开元初才取缔限造。但因表里仕宦均受其监察，权限甚广，颇为百官顾忌。员额，唐为十五人，宋减为六人，分察六部百司，等级为从七品。元沿设，员额良多，除内台三十二员，另有江南行台二十八员、陕西行台二十员。明改御史台为都察院，以都御史、副都御史为主官，所属监察御史分道负责，各冠以处所名称，各道人数不等，总数一百十人，均为正七品官。清同明造，乾隆时进步为从五品官。
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